W-Seal ve C-Seal'a Giriş

Yarıiletken ekipmanlarında kullanılan entegre gaz sistemleri (IGS) tipik olarak diyafram valfleri, çek valfleri, regülatörler, filtreler, basınç sensörleri, kütle akış kontrolörleri ve substratlar gibi bileşenlerden oluşur. Bu bileşenler genellikle yüzeye monte edilir ve W-SEAL veya C-SEAL kullanılarak kapatılır. Sızdırmazlık türünün seçimi, sistemin sızdırmazlık performansının belirlenmesinde çok önemlidir. Bu teknoloji konuşmasında, W-SEAL ve C-SEAL arasındaki benzerlikleri ve farklılıkları tartışacağız.

W-SEAL ve C-SEAL arasındaki benzerlikler

W-SEAL ve C-SEAL, her ikisi de metal conta türleridir. Kauçuk veya kompozit gibi metal olmayan contaların aksine, metal contalar sıkıştırma nedeniyle zamanla bozulmaz ve iyi kimyasal uyumluluğa sahiptirler. Ichor W-Seal contaları (IWG serisi) ve C-S-SEAL contaları (ICG serileri), Ichor Ultra Yüksek Saflık İşlemine (FC-03) göre 316L veya 316L var paslanmaz çelikten yapılmıştır. Bu contalar, RA ≤ 5 μin yüzey pürüzlülüğüne ulaşmak için elektro olarak doldurulur. Yarı F19 UHP'ye uygun olan 0.13 μm). Mükemmel sızdırmazlık performansı ile sızdırmazlık yüz sızıntı hızı (helyum) ≤ 1 × 10 ^-9 Std cm ³ /s.

Kaynak contası veya metal conta yüz contası ile karşılaştırıldığında, W-SEAL ve C-SEAL daha kompakttır ve gaz dağıtım sistemlerinin boyutunu önemli ölçüde azaltabilir. Sınırlı akış gerektiren durumlar için, belirtilen delikli sızdırmazlık contaları mevcuttur.

W-SEAL ve C-SEAL arasındaki farklılıklar

W-SEAL contaları (IWG serisi), sızdırmazlık yüzünün dış kuvvetler alan bileşenlerden bağımsız olmasını sağlayan "yüzen" bir yapı ile tasarlanmıştır. Kurulum sırasında, contanın sızdırmazlığı yüzü yüzeye monte edilmiş bileşenlere (W-SEAL valf gövdesi gibi) ve substratlara karşı sıkıştırır ve contayı oluşturur. Her W-SEAL, sisteme ayrı ayrı takılabilir, böylece sistem düzenleri değiştirildikçe çıkarılmasını ve yeniden yüklenmesini kolaylaştırır. Buna ek olarak, Ichor Service kiti (Model No.: SC-IGS-11), contanın kaliteli bir kurulumunu sağlamak için W-SEAL contaları için conta cont consterlar sunar.

Bir C-Seal Conta (ICG Serisi) bölümü, her iki tarafta iki düz sızdırmazlık patronu ile "C" harfine benzemektedir. Uygun şekilde sıkıldığında, contanın üstü ve alt kısmı yüzeye monte edilmiş bileşenlere (C-Seal valf gövdesi gibi) ve substratların sertleştirilmiş sızdırmazlık yüzlerine karşı parçalanır ve contalar oluşturur. Ek olarak, C-Seal conta braketi bir seferde birden fazla contayı bulmaya yardımcı olabilir.